[实用新型]注氦装置及氦检设备有效
| 申请号： | 202121670147.3 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN215414242U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 无锡先导智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329 | 代理人： | 王睿 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种注氦装置及氦检设备，该注氦装置包括注氦机构及四位二通阀，四位二通阀具有进气口及四个出气口，进气口能够交替与四个出气口导通；进气口通过隔断阀与注氦管连接，四个出气口分别与充氦装置、回氦装置、抽真空装置及破真空装置连接。因此，通过对四位二通阀的状态切换，可实现充氦装置、回氦装置、抽真空装置及破真空装置分别与注氦管连通或断开，从而实现充氦、回氦、抽真空及破真空操作，故能够显著减少管路。而且，隔断阀与注氦管直接连通，能进一步减少管路。管路结构的减少能够使得注氦装置的结构精简，便于维护。更重要的是，较少的管路结构还能够显著减少对氦气的吸附，从而能够提升氦检的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 设备 | ||
【主权项】：
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