[实用新型]注氦装置及氦检设备

权利要求书

1.一种注氦装置，其特征在于，包括：

注氦机构(100)，包括注氦管(110)及隔断阀(120)，所述注氦管(110)的一端设有注入口，所述隔断阀(120)固定于所述注氦管(110)远离所述注入口的一端并与所述注氦管(110)连通；及

四位二通阀(200)，具有进气口(210)及四个出气口(220)，所述进气口(210)能够交替与所述四个出气口(220)导通；

其中，所述进气口(210)通过所述隔断阀(120)与所述注氦管(110)连接，所述四个出气口(220)分别用于与充氦装置、回氦装置、抽真空装置及破真空装置连接。

2.根据权利要求1所述的注氦装置，其特征在于，所述注氦机构(100)包括固定座(130)，所述注氦管(110)安装于所述固定座(130)，且所述注氦管(110)相对于所述固定座(130)能够沿所述注入口的纵轴方向伸缩。

3.根据权利要求2所述的注氦装置，其特征在于，所述注氦机构(100)包括还安装板(140)及弹性件(150)，所述安装板(140)沿所述注入口的纵轴方向可滑动地安装于所述固定座(130)，所述注氦管(110)固定设置于所述安装板(140)，所述弹性件(150)沿所述注入口的纵轴方向对所述安装板(140)提供远离所述固定座(130)的弹性力。

4.根据权利要求3所述的注氦装置，其特征在于，所述弹性件(150)为压缩弹簧，且所述压缩弹簧的预紧量可调。

5.根据权利要求1所述的注氦装置，其特征在于，所述注氦管(110)为金属管状结构。

6.根据权利要求1所述的注氦装置，其特征在于，所述注氦机构(100)还包括压力表(160)及三通块(170)，所述注氦管(110)、所述隔断阀(120) 及所述压力表(160)分别与所述三通块(170)的三个端口连通。

7.根据权利要求1所述的注氦装置，其特征在于，所述四位二通阀为电磁阀。

8.根据权利要求1所述的注氦装置，其特征在于，所述注氦机构(100)为多个，相邻两个所述注氦机构(100)通过所述隔断阀(120)连通，所述进气口(210)与其中一个所述注氦机构(100)的所述隔断阀(120)连接。

9.根据权利要求8所述的注氦装置，其特征在于，还包括接气块(300)，所述接气块(300)具有第一气接头(310)、第二气接头(320)及第三气接头，所述第三气接头与其中一个所述注氦机构(100)的所述隔断阀(120)连接，所述第一气接头(310)及所述第二气接头(320)分别与所述进气口(210)及相邻的所述注氦机构(100)的所述隔断阀(120)连接。

10.一种氦检设备，其特征在于，包括如上述权利要求1至9任一项所述的注氦装置、充氦装置、回氦装置、抽真空装置及破真空装置，所述四个出气口(220)分别与所述充氦装置、所述回氦装置、所述抽真空装置及所述破真空装置连接。