[实用新型]CMP抛光垫背胶贴合设备有效
| 申请号： | 202121575024.1 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN215036636U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 詹军 | 申请（专利权）人： | 南京孚克讯新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24D11/08 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 冯五洲 |
| 地址： | 210033 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了CMP抛光垫背胶贴合设备，涉及背胶贴合设备结构技术领域，为解决现有的背胶贴合设备对抛光垫的贴合效果不好，不能方便快速的对抛光垫进行贴胶的问题。所述贴合装置的两端安装有运输装置架，所述贴合装置一侧的上方和下方均安装有安装架一，所述贴合装置的另一侧安装有安装架二，下方所述安装架一的一侧安装有热熔胶膜放料辊，上方所述安装架一的一侧安装有隔膜放料辊，安装架二的一侧安装有隔膜收料辊，所述贴合装置的内部安装有电磁加热辊，所述电磁加热辊的下方安装有张紧辊，所述电磁加热辊的一侧安装有牵引辊，所述电磁加热辊的上方安装有背压辊一，所述背压辊一的一侧安装有背压辊二，所述贴合装置的一端安装有电动气缸。 | ||
| 搜索关键词： | cmp 抛光 垫背 贴合 设备 | ||
【主权项】：
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