[实用新型]CMP抛光垫背胶贴合设备

权利要求书

1.CMP抛光垫背胶贴合设备，包括贴合装置(1)，其特征在于：所述贴合装置(1)的两端安装有运输装置架(2)，所述贴合装置(1)一侧的上方和下方均安装有安装架一(5)，所述贴合装置(1)的另一侧安装有安装架二(6)，所述安装架二(6)的一端安装有减速机(9)，下方所述安装架一(5)的一侧安装有热熔胶膜放料辊(13)，上方所述安装架一(5)的一侧安装有隔膜放料辊(14)，安装架二(6)的一侧安装有隔膜收料辊(15)，所述贴合装置(1)的内部安装有电磁加热辊(16)，所述电磁加热辊(16)的下方安装有张紧辊(17)，所述电磁加热辊(16)的一侧安装有牵引辊(18)，所述电磁加热辊(16)的上方安装有背压辊一(19)，所述背压辊一(19)的一侧安装有背压辊二(20)，所述贴合装置(1)的一端安装有电动气缸(22)，所述背压辊一(19)和背压辊一(19)的两侧均安装有螺纹固定杆一(26)，所述螺纹固定杆一(26)的一侧安装有连接固定架(27)，所述背压辊一(19)的下方安装有胶辊一(29)，所述背压辊二(20)的下方安装有胶辊二(33)。

2.根据权利要求1所述的CMP抛光垫背胶贴合设备，其特征在于：所述运输装置架(2)的内壁一侧安装有转棍(3)，所述转棍(3)的一端安装有传动带(301)，所述运输装置架(2)外壁的一侧安装有传送电机(4)。

3.根据权利要求1所述的CMP抛光垫背胶贴合设备，其特征在于：所述安装架一(5)和安装架二(6)的两端均设置有固定脚(7)，所述固定脚(7)与贴合装置(1)之间通过固定螺钉(12)固定连接，所述固定螺钉(12)的一端穿过固定脚(7)并延伸至贴合装置(1)的内部。

4.根据权利要求1所述的CMP抛光垫背胶贴合设备，其特征在于：所述电动气缸(22)设置有四个，所述电动气缸(22)与贴合装置(1)焊接连接。

5.根据权利要求1所述的CMP抛光垫背胶贴合设备，其特征在于：所述电动气缸(22)的下端设置有升缩杆(23)，所述升缩杆(23)的下端设置有固定座(24)，所述背压辊一(19)和背压辊二(20)的两端均设置有转动座(21)，所述转动座(21)与固定座(24)之间通过紧固螺钉(25)固定连接。

6.根据权利要求1所述的CMP抛光垫背胶贴合设备，其特征在于：所述安装架一(5)和安装架二(6)的前端均设置有放置架(8)，所述放置架(8)设置有两个，所述放置架(8)上端的内部设置有限位放置槽(801)，所述放置架(8)与安装架一(5)为一体结构，所述放置架(8)与安装架二(6)为一体结构。

7.根据权利要求1所述的CMP抛光垫背胶贴合设备，其特征在于：所述连接固定架(27)的内部设置有限位固定槽(2701)，所述螺纹固定杆一(26)的一端穿过限位固定槽(2701)并与固定螺栓一(28)固定连接。

8.根据权利要求1所述的CMP抛光垫背胶贴合设备，其特征在于：所述胶辊一(29)和胶辊二(33)的两端均设置有转动轴(30)，所述转动轴(30)的一侧安装有螺纹固定杆二(31)，所述螺纹固定杆二(31)的一端穿过连接固定架(27)并与固定螺栓二(32)固定连接。