[实用新型]一种带有滤光片的光学设备有效
| 申请号： | 202121557974.1 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN215340689U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 骆庆生;成立炯;蒙文科;胡平 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种带有滤光片的光学设备，包括载物台、第一光学系统、具有黄色滤光片的第二光学系统及光学放大装置；该光学设备能够替代现有的图形曝光机，通过第一光学系统提供的白光光束，即可通过反射光实现对相移掩模版中光刻胶的曝光，实现对COM缺陷的修复，具有成本低、操作简单、修复周期短的优点，且通过具有黄色滤光片的第二光学系统可提供虑光光束，以在对COM缺陷进行定位的同时，避免透射光对光刻胶的曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 滤光 光学 设备 | ||
【主权项】：
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