[实用新型]一种带有滤光片的光学设备有效
| 申请号： | 202121557974.1 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN215340689U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 骆庆生;成立炯;蒙文科;胡平 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 滤光 光学 设备 | ||
1.一种带有滤光片的光学设备，其特征在于，所述光学设备包括：
载物台，所述载物台具有通孔，所述载物台用以承载样品，且所述样品为表面具有光刻胶的相移掩模版，所述相移掩模版中具有COM缺陷；
第一光学系统，所述第一光学系统包括第一光学镜头和第一反射镜，所述第一光学镜头提供白光光束，所述白光光束经所述第一反射镜反射后，入射所述样品，以通过反射光对所述光刻胶进行曝光，用以修复所述COM缺陷；
第二光学系统，所述第二光学系统包括第二光学镜头和第二反射镜，所述第二光学镜头中包括黄色滤光片，所述第二光学镜头提供通过所述黄色滤光片的滤光光束，所述滤光光束经所述第二反射镜反射后，经所述通孔入射所述样品，以通过透射光对所述COM缺陷进行定位；
光学放大装置，通过所述光学放大装置观测所述样品。
2.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述第一光学镜头提供的所述白光光束的曝光范围为215μm～225μm，用以修复100μm以内的所述COM缺陷。
3.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述第一光学镜头提供的所述白光光束的曝光形貌为圆形。
4.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述载物台包括移动式载物台。
5.根据权利要求4所述的光学设备，其特征在于：所述移动式载物台的调节方式包括水平方向调节及竖直方向调节中的一种或组合。
6.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述第一光学镜头的光源包括钨丝白炽灯、卤素灯、碳弧灯及氙灯中的一种；所述第二光学镜头的光源包括钨丝白炽灯、卤素灯、碳弧灯及氙灯中的一种。
7.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述第一光学镜头的光源为调节式光源；所述第二光学镜头的光源为调节式光源。
8.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述光学放大装置的放大倍率为100倍～1500倍。
9.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述通孔的尺寸为5mm～20mm。
10.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于：所述载物台具有固定部，所述固定部用以固定所述样品。
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