[实用新型]一种用于射频磁控溅射仪的升降装置

摘要

本实用新型公开了一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，包括固定底座，所述固定底座的上端设置有竖板，所述竖板的下端设置有用于与固定底座之间进行连接的连接机构，所述竖板的侧壁上固定连接有固定块，所述固定块的一端侧壁上开设有凹槽，所述固定底座的上端固定连接有真空箱，所述凹槽内设置有内螺纹管，所述内螺纹管穿过凹槽的侧壁并与其滑动连接，所述内螺纹管的下端穿过真空箱的上端并与其密封滑动连接。本实用新型结构合理，通过设置升降机构以及限位机构，实现对靶头进行大幅度升降，避免靶头的升降幅度较小，导致测量不便的现象，同时在限位杆以及套管的作用下，提高内螺纹管以及靶头移动的稳定性。