[实用新型]一种用于射频磁控溅射仪的升降装置

权利要求书

1.一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，包括固定底座(1)，其特征在于，所述固定底座(1)的上端设置有竖板(4)，所述竖板(4)的下端设置有用于与固定底座(1)之间进行连接的连接机构，所述竖板(4)的侧壁上固定连接有固定块(12)，所述固定块(12)的一端侧壁上开设有凹槽，所述固定底座(1)的上端固定连接有真空箱(2)，所述凹槽内设置有内螺纹管(6)，所述内螺纹管(6)穿过凹槽的侧壁并与其滑动连接，所述内螺纹管(6)的下端穿过真空箱(2)的上端并与其密封滑动连接，所述内螺纹管(6)位于真空箱(2)内的一端固定连接有靶头(5)，所述固定块(12)的上端设置有用于对内螺纹管(6)进行升降的升降机构，所述凹槽内设置有用于对升降过程中的内螺纹管(6)进行限位的限位机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，其特征在于，所述连接机构包括贯穿固定板(13)的两个螺栓(14)，所述固定底座(1)的内部开设有两个腔体(15)，两个所述腔体(15)内均设置有与螺栓(14)相配合的螺母(16)，两个所述螺栓(14)分别穿过同侧的腔体(15)的上端并与内部的螺母(16)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，其特征在于，所述升降机构包括固定连接在固定块(12)上端的动力电机(11)，所述动力电机(11)的输出轴末端固定连接有螺纹杆(10)，所述螺纹杆(10)插设在内螺纹管(6)内并与其螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，其特征在于，所述限位机构包括固定连接在凹槽的两侧壁之间的限位杆(7)，所述限位杆(7)上滑动套接有套管(8)，所述套管(8)与内螺纹管(6)之间共同固定连接有横杆(9)。

5.根据权利要求4所述的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，其特征在于，所述套管(8)的下端与凹槽的一端侧壁之间通过弹簧弹性连接，所述弹簧为压力弹簧。

6.根据权利要求5所述的一种用于射频磁控溅射仪的升降装置，其特征在于，所述真空箱(2)的内底部固定连接有载物台(3)，所述载物台(3)的材质为石英石。