[实用新型]一种用于微纳气体传感器封装的盖板有效
| 申请号： | 202121465985.7 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN215866573U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王海容;王久洪;曹慧通;田鑫 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于微纳气体传感器封装的盖板，在盖板基体的内底壁设有用于容纳连接盖板和封装基体的粘合剂的环形槽，在盖板基体中心开有圆形窗口，圆形窗口上粘合有防水透气膜；盖板基体内侧壁设有橡胶密封圈。圆形窗口的设计，能够在一定程度上降低窗口对微纳气体传感器灵敏度的影响，且采用了防水透气膜4对圆形窗口进行密封，能够在一定程度上提高微纳气体传感器的使用寿命；在盖板基体中心开圆形窗口，窗口面积可覆盖微纳气体传感器芯片的大部分。使用防水透气膜对圆形窗口进行密封以确保外界水汽不会对微纳气体传感器的使用寿命产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 气体 传感器 封装 盖板 | ||
【主权项】：
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