[实用新型]上下料装置和固晶设备

摘要

本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种上下料装置和固晶设备。其中，上下料装置包括：机架、传送机构以及升降机构；传送机构安装在机架上，传送机构包括两条相对设置的传送带，以及带动传送带运动的驱动机构，传送带以用于传送物料；升降机构安装在机架上，升降机构包括承载件、升降驱动件以及传送件；升降驱动件以用于驱动承载件升降；传送件设置在承载件上，传送件以用于驱动物料转移；承载件以用于承载物料并带动物料升降。利用本申请实施例提供的上下料装置，将物料放置于两条传送带上，两条传送带带动物料转移至升降机构的上方。升降机构将传送带上的物料转移至固晶设备中。这样，能够提高物料周转效率且自动化程度高。