[实用新型]一种反应腔负压微调节系统

摘要

本实用新型公开了一种反应腔负压微调节系统，包括反应腔，所述反应腔的一侧固定安装有主抽风系统，所述主抽风系统的末端固定安装有连接组件，所述连接组件远离主抽风系统的一侧固定安装有自动调节风阀；所述连接组件包括第一连接框和第二连接框，所述第一连接框的一侧和自动调节风阀的一侧固定安装，本实用新型，通过设置连接组件，实现插管和连接管之间的密封连接，从而实现自动调节风阀和主抽风系统的末端之间的密封连接，防止连接处发生气体泄露影响正在生产的反应腔内负压，且方便进行自动调节风阀和主抽风系统的末端之间的快速拆卸，便于自动调节风阀的拆卸检修，从而提升了整个调节系统的使用效果。