[实用新型]一种反应腔负压微调节系统

权利要求书

1.反应腔负压微调节系统，包括反应腔(1)，其特征在于：所述反应腔(1)的一侧固定安装有主抽风系统(2)，所述主抽风系统(2)的末端固定安装有连接组件(5)，所述连接组件(5)远离主抽风系统(2)的一侧固定安装有自动调节风阀(4)；

所述连接组件(5)包括第一连接框(51)和第二连接框(52)，所述第一连接框(51)的一侧和自动调节风阀(4)的一侧固定安装，所述第二连接框(52)的中部固定插设有连接管(53)，所述连接管(53)远离第二连接框(52)的一侧固定安装在主抽风系统(2)的末端，所述连接管(53)的内壁一侧固定安装有限位环(54)，所述限位环(54)的一侧固定安装有密封胶环(56)，所述第一连接框(51)靠近第二连接框(52)的一侧焊接有插管(57)，所述插管(57)远离第一连接框(51)的一侧活动卡接在连接管(53)中，所述第一连接框(51)和第二连接框(52)的外侧均一体成型有呈对称分布的连接耳(511)，所述第一连接框(51)中的连接耳(511)中部均螺纹插设有连接螺栓(58)，所述连接螺栓(58)的一侧螺纹插接在第二连接框(52)中对应的连接耳(511)中。

2.根据权利要求1所述的反应腔负压微调节系统，其特征在于：所述限位环(54)的中部固定插设有导向管(55)。

3.根据权利要求2所述的反应腔负压微调节系统，其特征在于：所述密封胶环(56)活动套接在导向管(55)的外侧。

4.根据权利要求2所述的反应腔负压微调节系统，其特征在于：所述插管(57)活动套接在导向管(55)的外侧。

5.根据权利要求1所述的反应腔负压微调节系统，其特征在于：所述插管(57)远离第一连接框(51)的一侧和密封胶环(56)紧密接触。

6.根据权利要求1所述的反应腔负压微调节系统，其特征在于：所述第一连接框(51)和第二连接框(52)结构相同。

7.根据权利要求1所述的反应腔负压微调节系统，其特征在于：所述第一连接框(51)和第二连接框(52)的相对侧相互接触。

8.根据权利要求1所述的反应腔负压微调节系统，其特征在于：所述主抽风系统(2)上设有手阀(3)。