[实用新型]芯片研磨机的研磨液喷液装置有效
| 申请号： | 202121394728.9 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN215240151U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 曾庆华;赵亮;曾庆明 | 申请（专利权）人： | 安徽格楠机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02;B24B47/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241300 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体、电机一、下研磨盘、顶板、液压缸、连接板、电机二、从动轴、输液泵和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体顶部设置有立柱、排污槽，所述的电机一设置在箱体内底部，所述的下研磨盘安装在传动轴一上，所述的顶板设置在立柱上，所述的液压缸设置在顶板上，所述的连接板通过连接杆与活塞杆连接，所述的电机二设置在连接板上，所述的从动轴竖向穿过轴承二，所述的输液泵设置在连接板上，所述的上研磨盘通过安装环安装在从动轴上。本实用新型在排污槽内放置过滤板，通过过滤板能够对流入到排污槽内的研磨液进行初步过滤处理，避免大颗粒的杂质从排污管进入到箱体内，提高研磨液的过滤效果。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 研磨机 研磨 液喷液 装置 | ||
【主权项】：
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