[实用新型]芯片研磨机的研磨液喷液装置

权利要求书

1.一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体、电机一、下研磨盘、顶板、液压缸、连接板、电机二、从动轴、输液泵和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体顶部设置有立柱、排污槽，并在排污槽上设置有轴承一，所述的电机一设置在箱体内底部，在电机一上设置有传动轴一，并将传动轴一竖向穿过轴承一，所述的下研磨盘安装在传动轴一上，所述的顶板设置在立柱上，所述的液压缸设置在顶板上，在液压缸上设置有活塞杆，将活塞杆从顶板下方竖向穿出，并在活塞杆上设置有连接杆，所述的连接板通过连接杆与活塞杆连接，并在连接板上设置有轴承二，所述的电机二设置在连接板上，在电机二上设置有传动轴二，并在传动轴二上设置有主动轮，所述的从动轴竖向穿过轴承二，在从动轴顶部设置有从动轴，并将从动轮通过皮带与主动轮连接，所述的输液泵设置在连接板上，并在输液泵上设置有输液管，所述的上研磨盘通过安装环安装在从动轴上。

2.如权利要求1所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的箱体上的排污槽底部设置有排污管，并将排污管从箱体侧壁伸出。

3.如权利要求1所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的从动轴设置为中空结构，将输液管插入从动轴顶端。

4.如权利要求1或3所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的从动轴与输液管之间设置有密封环。

5.如权利要求1所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的上研磨盘内设置有内腔，将内腔与中空的从动轴连通，在上研磨盘表面设置有研磨槽，在研磨槽内设置有排液孔，并将排液孔与内腔连通。

6.如权利要求1或5所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的上研磨盘通过安装环设置为可在从动轴上更换的结构。