[实用新型]一种真空吸附治具有效
| 申请号： | 202121369302.8 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN215847730U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏升;侯伟;史磊;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 黄章辉 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于定位治具技术领域，特别涉及一种真空吸附治具，包括治具板、间隔板、第一气管接头及第二气管接头；治具板上设置有真空腔，间隔板位于真空腔内，以将真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔；第一气管接头和第二气管接头安装在治具板上，第一气管接头连接第一真空腔，第二气管接头连接第二真空腔；治具板上设置有与真空腔连通的多个吸附孔。本实用新型实施例中每个真空腔均连接有气管接头，气管接头连接真空发生器，使得治具板上形成两组相互独立的真空吸道，通过第一真空腔和第二真空腔组合配合能够实现多种不同尺寸晶圆的吸附定位，不需要在生产过程中切换不同尺寸的治具板，可有效节约切换时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸附 | ||
【主权项】：
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