[实用新型]一种真空吸附治具

说明书

本实用新型属于定位治具技术领域，特别涉及一种真空吸附治具，包括治具板、间隔板、第一气管接头及第二气管接头；治具板上设置有真空腔，间隔板位于真空腔内，以将真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔；第一气管接头和第二气管接头安装在治具板上，第一气管接头连接第一真空腔，第二气管接头连接第二真空腔；治具板上设置有与真空腔连通的多个吸附孔。本实用新型实施例中每个真空腔均连接有气管接头，气管接头连接真空发生器，使得治具板上形成两组相互独立的真空吸道，通过第一真空腔和第二真空腔组合配合能够实现多种不同尺寸晶圆的吸附定位，不需要在生产过程中切换不同尺寸的治具板，可有效节约切换时间，提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于定位治具技术领域，特别是涉及一种真空吸附治具。

背景技术

在晶圆的生产过程中，需要使用激光在晶圆的特定位置，打上流水编号、产品名称及批次号等相关讯息所对应的特定字符串。晶圆具有6寸、8寸和12寸等多种规格，但是现有的治具都是专用治具，一种治具对应一种规格的晶圆，治具不能兼容多种规格的晶圆生产。

这样，在生产不同尺寸的晶圆时，需要更换成对应尺寸的治具，且更换后还需将晶圆校准到特定位置，耗费时间。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有的晶圆定位治具不能兼容多种规格的晶圆生产的问题，提供一种真空吸附治具。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种真空吸附治具，包括治具板、间隔板、第一气管接头及第二气管接头；所述治具板上设置有真空腔，所述间隔板位于所述真空腔内，以将所述真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔；所述第一气管接头和所述第二气管接头安装在所述治具板上，所述第一气管接头连接所述第一真空腔，所述第二气管接头连接所述第二真空腔；所述治具板上设置有与所述真空腔连通的多个吸附孔。

可选地，所述间隔板为环形间隔板，所述第二真空腔包围在所述第一真空腔的外围。

可选地，所述治具板上设置有通过所述第一气管接头进行吸附的第一吸附区域和通过所述第二气管接头进行吸附的第二吸附区域，所述第一吸附区域的形状与所述第一真空腔的形状相同，所述第二吸附区域的形状与所述第二真空腔的形状相同。

可选地，所述真空吸附治具还包括用于对工件定位的定位装置，所述定位装置包括定位销钉和定位线，所述定位销钉设置在所述第一吸附区域和所述第二吸附区域的交界处，所述定位线设置在所述第一吸附区域的外边缘和所述第二吸附区域的外边缘。

可选地，所述真空吸附治具还包括第一封板和第二封板，所述第一封板封盖在所述第一真空腔上，所述第二封板封盖在所述真空腔上。

可选地，所述第一封板包括第一固定板和安装在所述第一固定板上的第一嵌体，所述间隔板包括间隔板本体和凸缘，所述第一嵌体嵌入所述第一真空腔中，所述第一固定板的下表面抵触所述间隔板本体的上表面，所述第一固定板的上表面与所述凸缘的上表面平齐。

可选地，所述第二封板包括第二固定板和安装在所述第二固定板上的第二嵌体，所述真空腔的内壁处设置有环状台阶，所述第二嵌体嵌入所述第二真空腔中，所述第二固定板的下表面抵触所述环状台阶的上表面，所述第二固定板的上表面与所述治具板平齐。

可选地，所述第一固定板与所述间隔板的连接处，以及所述第二固定板与所述环状台阶的连接处填充有密封胶。

本实用新型实施例提供的真空吸附治具，通过间隔板将真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔，每个真空腔均连接有气管接头，气管接头连接真空发生器，使得所述治具板上形成两组相互独立的真空吸道，通过第一真空腔和第二真空腔组合配合能够实现多种不同尺寸晶圆的吸附定位，不需要在生产过程中切换不同尺寸的治具板，可有效节约切换时间，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的真空吸附治具的示意图；