[实用新型]一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置有效

专利信息
申请号: 202121356764.6 申请日: 2021-06-18
公开(公告)号: CN214848517U 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 黄修飞;詹建东;梁思胜 申请(专利权)人: 赫得纳米科技(黄石)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 武汉智慧恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 代理人: 彭冲
地址: 435100 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开了一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置,包括横向导轨板、刻蚀枪、刻蚀加工台和稳定底板,所述刻蚀加工台的底端中部通过螺栓安装有第一电推杆,且第一电推杆的底端通过镶嵌方式安装在支撑架上,所述刻蚀加工台的顶部一侧通过铰接方式安装有翻转的工件放置板,在工件放置板上设置有开口朝内侧的工件放置槽,所述刻蚀加工台的内部一侧设置有工件接收槽,所述工件接收槽的内部设置有送料带,所述送料带安装在两根输送辊之间,且两根输送辊两端之间安装有侧护板。该实用新型的通过横向导轨板、支撑杆、稳定底板和刻蚀加工台组合而成,整体结构设计较大简单,去除了全包或者半包的外壳,使其整体造价大大降低。
搜索关键词: 一种 具备 自动 翻转 结构 刻蚀 装置
【主权项】:
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