[实用新型]一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置有效

专利信息
申请号: 202121356764.6 申请日: 2021-06-18
公开(公告)号: CN214848517U 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 黄修飞;詹建东;梁思胜 申请(专利权)人: 赫得纳米科技(黄石)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 武汉智慧恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 代理人: 彭冲
地址: 435100 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 具备 自动 翻转 结构 刻蚀 装置
【权利要求书】:

1.一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置,包括横向导轨板(6)、刻蚀枪(10)、刻蚀加工台(14)和稳定底板(17),其特征在于:所述刻蚀加工台(14)的底端中部通过螺栓安装有第一电推杆(15),且第一电推杆(15)的底端通过镶嵌方式安装在支撑架(16)上,所述刻蚀加工台(14)的顶部一侧通过铰接方式安装有翻转的工件放置板(9),在工件放置板(9)上设置有开口朝内侧的工件放置槽(18),所述刻蚀加工台(14)的内部一侧设置有工件接收槽(22),所述工件接收槽(22)的内部设置有送料带(13),所述送料带(13)安装在两根输送辊(11)之间,且两根输送辊(11)两端之间安装有侧护板(12),侧护板(12)的一端与刻蚀加工台(14)的两端焊接连接。

2.根据权利要求1所述的一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置,其特征在于:所述横向导轨板(6)的两端通过焊接方式安装有安装耳(7),所述安装耳(7)上通过螺栓安装有支撑杆(8),所述稳定底板(17)的顶端两侧和中部分别设置有安装孔(19)和安装板(20),且支撑杆(8)的一端与安装孔(19)镶嵌固定连接,支撑架(16)通过螺栓安装在安装板(20)上。

3.根据权利要求1所述的一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置,其特征在于:所述横向导轨板(6)的中部设置有卡槽(4),所述卡槽(4)的中部安装有螺杆(5),所述横向导轨板(6)的顶部一侧通过电机座(1)安装有电机(2),且电机(2)通过传动带与螺杆(5)的一端传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置,其特征在于:所述横向导轨板(6)上安装有箍套(3),所述刻蚀枪(10)安装在箍套(3)的内部,所述刻蚀枪(10)的刻蚀头与工件放置槽(18)对应设置。

5.根据权利要求4所述的一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置,其特征在于:所述箍套(3)的背侧设置有卡耳,且卡耳与卡槽(4)滑动镶嵌连接,所述箍套(3)的内侧中部设置有导向耳,且导向耳与螺杆(5)丝杆传动连接。

6.根据权利要求1所述的一种具备自动翻转拿取结构的刻蚀装置,其特征在于:所述刻蚀加工台(14)的内部另一侧安装有第二电推杆(21),且第二电推杆(21)的一端与工件放置板(9)的背侧中部镶嵌连接,所述工件放置板(9)翻转至与刻蚀加工台(14)垂直状态时,与侧护板(12)对应设置,且工件放置槽(18)的出料口朝下。

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