[实用新型]一种点状支撑的PVD子载板有效
| 申请号： | 202121334009.8 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN215251146U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 林志华 | 申请（专利权）人： | 福建钜能电力有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 351111 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种点状支撑的PVD子载板，其包含PVD子载板框、一圈宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑。所述宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑设置在PVD子载板框的内边框上；所述8个凸点支撑分散分布在宽度尺寸较窄的周长全支撑圈上。周长全支撑圈的宽度尺寸可减小到0.5mm以下并用8个凸点来支撑硅片，这样既使正反面之间形成一道镀膜空白区域作为绝缘屏障，以保证暗电流不会过高，保证了PVD镀膜时不会产生绕镀，同时减少了整体镀膜面积的遮挡。因此，本实用新型提供的点状支撑的PVD子载板很好的保证硅片平整地完成镀膜，既能降低破片率又能有效地降低镀膜后的暗电流不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 pvd 子载板 | ||
【主权项】：
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