[实用新型]一种点状支撑的PVD子载板

说明书

本实用新型提供了一种点状支撑的PVD子载板，其包含PVD子载板框、一圈宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑。所述宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑设置在PVD子载板框的内边框上；所述8个凸点支撑分散分布在宽度尺寸较窄的周长全支撑圈上。周长全支撑圈的宽度尺寸可减小到0.5mm以下并用8个凸点来支撑硅片，这样既使正反面之间形成一道镀膜空白区域作为绝缘屏障，以保证暗电流不会过高，保证了PVD镀膜时不会产生绕镀，同时减少了整体镀膜面积的遮挡。因此，本实用新型提供的点状支撑的PVD子载板很好的保证硅片平整地完成镀膜，既能降低破片率又能有效地降低镀膜后的暗电流不良。

技术领域

本实用新型涉及PVD载板领域，尤其涉及一种点状支撑的PVD子载板。

背景技术

PVD子载板用于放置待PVD镀膜的硅片，为了防止硅片在镀膜过程中掉落，如图3所示，现有技术是在子载板框边缘周围设置一整圈的边缘周长全支撑圈，该支撑方式，如果支撑圈的尺寸太宽，如0.7mm，遮档太多会减少整体镀膜面积；而支撑圈的尺寸太窄，如0.6mm，又容易掉片或卡片，造成硅片破片率大。此外，采用一整圈的边缘周长全支撑圈的支撑方式，遮档面积过大，还会造成镀膜后暗电流不良率偏高。因此，现有技术存在不足。

发明内容

为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种点状支撑的PVD 子载板，其特征在于，所述点状支撑的PVD子载板包含PVD子载板框、一圈宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑。所述宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑设置在PVD子载板框的内边框上；所述8个凸点支撑分散分布在宽度尺寸较窄的周长全支撑圈上。

优选的，所述宽度尺寸较窄的周长全支撑圈宽度小于0.5mm；

优选的，所述PVD子载板框根据不同硅片尺寸设置不同的尺寸；

优选的，所述8个凸点分别设置在PVD子载板框的四个角落位置和四个边长的中间位置；

优选的，所述8个凸点分别两两的设置在PVD子载板框四个边长位置上；

优选的，所述8个凸点的长度和为PVD子载板框周长的3％-5％；

优选的，所述8个凸点的凸出尺寸为PVD子载板框边长的0.6％-1％。

和现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提供的点状支撑的PVD子载板，通过PVD子载板框的内边框上设置宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑。周长全支撑圈的宽度尺寸减小到0.5mm以下并用8个凸点来支撑硅片，这样既使正反面之间形成一道镀膜空白区域作为绝缘屏障，以保证暗电流不会过高，保证了PVD镀膜时不会产生绕镀，减少了整体镀膜面积的遮挡。因此，本实用新型提供的点状支撑的PVD子载板很好的保证硅片平整地完成镀膜，既能降低破片率又能有效地降低镀膜后的暗电流不良。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型提供的点状支撑的PVD子载板实施例的一种结构示意图；

图2为本实用新型提供的点状支撑的PVD子载板实施例的一种结构示意图；

图3为现有技术边缘周长全支撑圈PVD子载板的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。