[实用新型]一种OLED及基板风干载台有效
| 申请号： | 202121314638.4 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN214898374U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 高军鹏;康宏刚;李世杰;张立文 | 申请（专利权）人： | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677;H01L51/56;F26B9/10;F26B21/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种OLED及基板风干载台，包括载台支座、载台支架、OLED承载部及FPC承载部，其中，上述载台支座竖直设置在风干箱体内；上述载台支架水平设置在载台支座上，载台支架为上下双层结构，载台支架的中部形成有移动通道；上述OLED承载部设置在载台支架的一侧，OLED及其基板经OLED承载部支撑并吸附固定，FPC承载部设置在载台支架的另一侧，连接于OLED一侧的FPC经FPC承载部支撑，且OLED承载部及FPC承载部为上下镂空结构，以便搬移及上下风干OLED基板。本实用新型采用镂空式真空承载及吸附结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，并实现OLED及FPC独立吸附固定，保证搬移风干过程中位置稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 风干 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市易天自动化设备股份有限公司，未经深圳市易天自动化设备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121314638.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
