[实用新型]一种OLED及基板风干载台有效
申请号: | 202121314638.4 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN214898374U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 高军鹏;康宏刚;李世杰;张立文 | 申请(专利权)人: | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677;H01L51/56;F26B9/10;F26B21/00;F26B25/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 风干 | ||
1.一种OLED及基板风干载台,其特征在于:包括载台支座(21)、载台支架(22)、OLED承载部及FPC承载部,其中,上述载台支座(21)竖直设置在风干箱体内;上述载台支架(22)水平设置在载台支座(21)上,载台支架(22)为上下双层结构,载台支架(22)的中部形成有移动通道(A);上述OLED承载部设置在载台支架(22)的一侧,OLED及其基板经OLED承载部支撑并吸附固定,FPC承载部设置在载台支架(22)的另一侧,连接于OLED一侧的FPC经FPC承载部支撑,且OLED承载部及FPC承载部为上下镂空结构,以便搬移及上下风干OLED基板。
2.根据权利要求1所述的一种OLED及基板风干载台,其特征在于:所述的OLED承载部包括OLED承载板(23)、OLED支条(24)、真空接头(25)及OLED吸嘴(26),其中,上述OLED承载板(23)包括至少二块,OLED承载板(23)设置在载台支架(22)的内侧,OLED承载板(23)的中部设有通槽(B);上述OLED支条(24)包括至少二根,OLED支条(24)沿通槽(B)的两侧平行间隔地设置在OLED承载板(23)上,相邻OLED支条(24)形成上下贯通的条状空隙,OLED支条(24)在OLED承载板(23)上形成OLED承载区域。
3.根据权利要求2所述的一种OLED及基板风干载台,其特征在于:所述的OLED承载板(23)及OLED支条(24)内部分别设有气路,且OLED承载板(23)与OLED支条(24)的气路连通;上述真空接头(25)设置在OLED承载板(23)的侧部且与OLED承载板(23)内部气路连通;上述OLED吸嘴(26)包括至少二个,OLED吸嘴(26)设置在OLED支条(24)上,并与OLED支条(24)内部气路连通,OLED吸嘴(26)处产生真空负压以便向下吸附固定OLED基板。
4.根据权利要求3所述的一种OLED及基板风干载台,其特征在于:所述的FPC承载部包括FPC承载板(27),FPC承载板(27)包括至少二块,FPC承载板(27)对应OLED承载板(23)水平设置在载台支架(22)的外侧,FPC承载板(27)上开设有至少二条条状缝隙。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市易天自动化设备股份有限公司,未经深圳市易天自动化设备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121314638.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造