[实用新型]一种石墨舟

摘要

本申请公开了一种石墨舟，包括若石墨舟片和连接杆组，石墨舟片间隔排布且相互平行，石墨舟片开设有若干个承载位，承载位沿石墨舟片长度方向布置；连接杆组沿石墨舟片长度方向布置，一个承载位与多个连接杆组对应设置；承载位位于石墨舟片长度方向中间位置对应的连接杆组数量多于承载位位于石墨舟片长度方向其余位置对应的连接杆组数量，或者，连接杆组包括第一连接杆和第二连接杆，承载位位于石墨舟片长度方向中间位置对应的连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量多于承载位位于石墨舟片长度方向的其余位置对应的连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量。本申请增加石墨舟片中间位置的连接杆数量，提高石墨舟片刚度和平稳性，避免硅片翘曲。