[实用新型]一种石墨舟有效
申请号: | 202121312429.6 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN216404535U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 陈亚栋 | 申请(专利权)人: | 陕西隆基乐叶光伏科技有限公司;西安隆基乐叶光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 | ||
1.一种石墨舟,包括:
若干个石墨舟片,所述石墨舟片间隔排布且相互平行,所述石墨舟片开设有若干个承载位,所述承载位沿所述石墨舟片长度方向布置;
若干个连接杆组,所述连接杆组沿所述石墨舟片长度方向布置,一个所述承载位与多个所述连接杆组对应设置,所述连接杆组位于所述承载位两侧;
其特征在于,
所述连接杆组包括设置于所述石墨舟片上部的第一连接杆和设置于所述石墨舟片下部的第二连接杆,所述承载位位于所述石墨舟片长度方向中间位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量多于所述承载位位于所述石墨舟片长度方向的其余位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量。
2.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述第一连接杆直径小于所述第二连接杆直径。
3.根据权利要求2所述的石墨舟,其特征在于,所述第一连接杆直径为6~7mm,所述第二连接杆直径为6~8mm。
4.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述第一连接杆和所述第二连接杆的数量相同。
5.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,还包括第三连接杆,所述第三连接杆与所述石墨舟片长度方向中间位置的所述承载位对应设置。
6.根据权利要求5所述的石墨舟,其特征在于,所述第三连接杆位于所述石墨舟片上部至下部的中间位置。
7.根据权利要求6所述的石墨舟,其特征在于,所述第三连接杆的数量与所述第一连接杆或所述第二连接杆数量相同。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的石墨舟,其特征在于,所述连接杆组与所述石墨舟片串联配合,所述石墨舟片等间距间隔布置。
9.根据权利要求8所述的石墨舟,其特征在于,所述第一、二连接杆的两端通过紧固组件固定于最外侧的两个所述石墨舟片上,所述紧固组件包括弹垫、平垫及螺母。
10.根据权利要求1至7中任一项中所述的石墨舟,其特征在于,在所述承载位的边缘还开设有用于固定硅片的多个卡点,所述多个卡点分布在所述承载位的三个不同的边缘。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的