[实用新型]一种晶圆托盘

摘要

本实用新型公开了一种晶圆托盘，涉及半导体制造技术领域，具体为一种晶圆托盘，包括托盘本体，所述托盘本体的顶部分别固定连接有支撑杆和配合块，所述支撑杆的顶部通过轴杆转动连接有条形块。该晶圆托盘，通过支撑杆、条形块、圆块、固定块、电动液压推杆、连接杆、圆杆、小球和垫块的设置，使该晶圆托盘具备了方便对晶圆进行固定的效果，在使用的过程中电动液压推杆的活动端伸出，使圆块在条形槽的内部移动，使条形块转动，使小球与放置在垫块上的晶圆抵接，限制晶圆的位置，且小球和垫块的材质均为橡胶，避免压坏晶圆，从而起到了方便对晶圆进行固定的作用，达到了方便对晶圆进行固定的目的。