[实用新型]一种晶圆托盘

权利要求书

1.一种晶圆托盘，包括托盘本体(1)，其特征在于：所述托盘本体(1)的顶部分别固定连接有支撑杆(2)和配合块(3)，所述支撑杆(2)的顶部通过轴杆转动连接有条形块(4)，所述条形块(4)的内部开设有条形槽，所述条形槽的内部滑动连接有圆块(5)，所述圆块(5)的后面固定连接有固定块(6)，所述固定块(6)的底部固定连接有电动液压推杆(7)的活动端，所述条形块(4)的一侧面固定连接有连接杆(8)，所述连接杆(8)的底部固定连接有圆杆(9)，所述圆杆(9)的底部固定连接有小球(10)，所述配合块(3)通过轴杆转动连接有方块筒(11)，所述方块筒(11)的内侧壁开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块(12)，所述滑块(12)的一侧面固定连接有调节块(13)，所述调节块(13)的一侧面固定连接有横杆(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于：所述托盘本体(1)的顶部开设有圆槽，所述圆槽的内部固定连接有支杆(15)，所述支杆(15)的顶部固定连接有放置板(16)，所述放置板(16)的顶部固定连接有垫块(17)，所述垫块(17)的材质为橡胶。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于：所述调节块(13)的端部插接在方块筒(11)的内部，所述配合块(3)的数量有若干个，若干个所述配合块(3)呈矩形阵列排布。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于：所述托盘本体(1)的底部开设有电池槽，所述电池槽的内部设置有蓄电池(18)，所述蓄电池(18)通过导线与电动液压推杆(7)电性连接。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆托盘，其特征在于：所述小球(10)的材质为橡胶，所述小球(10)的位置与圆槽的位置相对应，所述放置板(16)和垫块(17)均位于圆槽的内部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于：所述托盘本体(1)的两侧面均固定连接有辅助块(19)，所述辅助块(19)的顶部与电动液压推杆(7)的固定端固定连接。