[实用新型]一种半导体封装设备的上料机构有效
| 申请号: | 202121290103.8 | 申请日: | 2021-06-09 |
| 公开(公告)号: | CN214705886U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
| 发明(设计)人: | 叶庆文 | 申请(专利权)人: | TOWA半导体设备(苏州)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 宋攀 |
| 地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型提供的半导体封装设备的上料机构,包括机架、料盒架、推料单元、驱动机构,推料单元包括可前后移动的基座、推杆,驱动机构包括用于驱动料盒架上下移动的第一驱动机构和用于驱动基座前后移动的第二驱动机构,通过使推杆可前后移动地设置在基座上,使推杆的后端部通过弹性件与基座的后表面相连接,使弹性件具有驱使推杆向前移动的趋势,在基座向前移动时,能够通过推杆将基板从料盒中向前推出,实现基板的上料,当基板卡在料盒内时,能够通过弹性件吸收基座传递给推杆的力,避免推杆继续向前移动损坏基板及料盒,实现容错,通过使料盒架每次移动的距离等于料盒内相邻两层基板之间的间距,使得基板上料过程的连续性好,上料效率高。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 封装 设备 机构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





