[实用新型]一种大幅面微结构阵列自动生产线设备有效
| 申请号： | 202121287067.X | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN215679035U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 栾世奕;宋毅;桂成群;薛兆丰 | 申请（专利权）人： | 矽万（上海）半导体科技有限公司;武汉大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 丁利华 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种大幅面微结构阵列自动生产线设备，依次包括：激光直写x方向运动平台，激光头，载物台，激光直写设备无尘箱，大理石材质稳定平台，转移平台，高精度旋转电机，直线电机，步进电机，真空吸嘴，吸附板，清洗吸嘴，旋转电机，皮带轮以及移动平台。本实用新型的自动生产线设备，通过流水线式地自动进行图案化曝光、转运显影、清洗、转移压印等步骤，可以提高微结构产品生产效率，并解决人工手动分段操作、成本较高且质量难以保证的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大幅面 微结构 阵列 自动生产线 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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