[实用新型]一种大幅面微结构阵列自动生产线设备

权利要求书

1.一种大幅面微结构阵列自动生产线设备，其特征在于，依次包括：激光直写x方向运动平台，激光头，载物台，激光直写设备无尘箱，大理石材质稳定平台，转移平台，高精度旋转电机，直线电机，步进电机，真空吸嘴，吸附板，清洗吸嘴，旋转电机，皮带轮以及移动平台，

其中，所述激光直写x方向运动平台用于控制所述激光头X方向的运动；所述激光头设置于所述激光直写x方向运动平台，用于对所述载物台上的光刻胶进行图案化曝光；所述载物台用于实现对多种光刻胶及其衬底的承载；所述激光直写设备无尘箱用于保持所述载物台上光刻胶的清洁；所述大理石材质稳定平台用于支持所述大幅面微结构阵列自动生产线设备的各部件以减少设备的振动幅度；所述转移平台用于连接高精度旋转电机与载物台；所述高精度旋转电机用于控制转移平台移动图案化曝光后的光刻胶；所述直线电机用于控制载物台y方向的运动，与所述激光直写x方向运动平台配合以实现所述载物台上光刻胶在x，y方向的二维运动；所述真空吸嘴用于完成光刻胶的显影以及将图案模板吸附于所述吸附板；所述步进电机用于控制吸附板与所述大理石材质稳定平台之间的垂直距离，以实现所述图案模板的上下运动；所述吸附板用于固定所述图案模板；所述清洗吸嘴用于去除图案模板上残留的光刻胶；所述旋转电机用于将图案模板转移到所述移动平台上；所述皮带轮用于带动所述移动平台；所述移动平台上涂布添加材料。

2.根据权利要求1所述的大幅面微结构阵列自动生产线设备，其特征在于，所述真空吸嘴除了抽取真空以将所述图案模板吸附于所述吸附板外，还通过喷出显影液以完成对光刻胶的显影。

3.根据权利要求2所述的大幅面微结构阵列自动生产线设备，其特征在于，在所述旋转电机将所述图案模板转移到所述移动平台上前，所述移动平台上涂布所述添加材料，所述添加材料是光固化材料或热塑性材料。

4.根据权利要求3所述的大幅面微结构阵列自动生产线设备，其特征在于，所述清洗吸嘴进一步具有白光装置，用于对光刻胶图案进行白光全部曝光，并喷出显影液以及超纯水，以清除所述图案模板上残留的光刻胶。

5.根据权利要求1所述的大幅面微结构阵列自动生产线设备，其特征在于，所述图案模板是向显影后的光刻胶滴涂PMDS材料后形成的模板。