[实用新型]一种用于高纯石英制品通风清洗柜有效
| 申请号： | 202121284775.8 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN215466442U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张峰;陈瑜;黄小华;陈龙 | 申请（专利权）人： | 陕西铟杰半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;B08B15/00;B08B15/04;G01D21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 727031 陕西省铜川市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于高纯石英制品通风清洗柜，属于半导体行业的石英等无机材料容器制品清洗领域，包括柜体，所述柜体的正面固定安装有观察窗口，且柜体正面的底部活动安装有柜门，所述观察窗口与柜门之间设置有推拉窗口，所述推拉窗口的底部安装有固定板，柜体的顶部固定安装有顶盖，顶盖的内部固定安装有集气罩，且顶盖的内侧固定连接有导流板，导流板的内部固定安装有日光灯；该用于高纯石英制品通风清洗柜，在使用的过程中提高了自动化水平，清洗能力好，人员操作环境有所改善，机械化清洗程度提高，功能性较强和多样，不仅能够进行连续性操作，而且能够实时控制和监测清洗成果和清洗程度，从而加强了数子化操作性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高纯 石英 制品 通风 清洗 | ||
【主权项】：
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