[实用新型]一种用于高纯石英制品通风清洗柜有效

专利信息
申请号: 202121284775.8 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN215466442U 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 张峰;陈瑜;黄小华;陈龙 申请(专利权)人: 陕西铟杰半导体有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;B08B15/00;B08B15/04;G01D21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 727031 陕西省铜川市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 高纯 石英 制品 通风 清洗
【权利要求书】:

1.一种用于高纯石英制品通风清洗柜,包括柜体(1),其特征在于:所述柜体(1)的正面固定安装有观察窗口(2),且柜体(1)正面的底部活动安装有柜门(3),所述观察窗口(2)与柜门(3)之间设置有推拉窗口(4),所述推拉窗口(4)的底部安装有固定板(5),所述柜体(1)的顶部固定安装有顶盖(6),所述顶盖(6)的内部固定安装有集气罩(7),且顶盖(6)的内侧固定连接有导流板(8),所述导流板(8)的内部固定安装有日光灯(9),所述柜体(1)的内部从上到下依次设置有冷凝液收集槽(10)、清洗槽(11)、滑板(12)、操作台面(13)和水槽(14),所述水槽(14)包括清洗液接水槽(141)和溶液接水槽(142),所述清洗槽(11)内腔的底部和内侧分别固定安装有加热板(15)、超声波发生器(16)和带有微孔的陶瓷管,且清洗槽(11)一侧的底部固定连接有排液管(17),所述排液管(17)的外部固定安装有排液阀(18),所述柜体(1)内侧固定连接有夹板(19),所述夹板(19)的顶部卡接有喷头(20),所述喷头(20)的底端固定连接有软管(21),所述柜体(1)内腔底部的一侧固定安装有收管机(22),所述软管(21)缠绕在收管机(22)上,所述溶液接水槽(142)的底部固定连接有下水管(23),所述下水管(23)出水端的底部设置有废液排液管(24),所述废液排液管(24)与车间污水处理系统相连。

2.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜,其特征在于:所述集气罩(7)位于导流板(8)的上方,且集气罩(7)与抽风系统相连。

3.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜,其特征在于:所述冷凝液收集槽(10)固定安装在观察窗口(2)的背面,且冷凝液收集槽(10)位于清洗槽(11)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜,其特征在于:所述清洗槽(11)卡接在滑板(12)的顶部,所述滑板(12)放置在操作台面(13)的顶部,所述操作台面(13)设置在水槽(14)的顶部,所述操作台面(13)的顶部设置有圆柱,且操作台面(13)的表面开设有通孔。

5.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜,其特征在于:所述清洗液接水槽(141)位于溶液接水槽(142)的一侧,且清洗液接水槽(141)的容积值远远大于溶液接水槽(142)的容积值。

6.根据权利要求1所述的一种用于高纯石英制品通风清洗柜,其特征在于:所述清洗液接水槽(141)底部的一侧固定连接有冲洗排液管(25),所述冲洗排液管(25)的外部从上到下依次安装有PH值检测仪(26)、电子式温度检测仪(27)和出水阀(28),所述出水阀(28)的下方从左到右分别设置有电阻率检测仪(29)和电子式流量计(30),所述电阻率检测仪(29)和电子式流量计(30)均安装在冲洗排液管(25)的外部,所述柜体(1)正面的一侧固定安装有液晶控制面板(31)。

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