[实用新型]一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构

摘要

本实用新型涉及一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构和输送辊机构，旋转靶阴极机构上设置有靶材和阴极背板组件；阴极背板组件包含阴极盖板、阴极背板、不锈钢筛网、梯形固定块和压条，阴极盖板和不锈钢筛网分别位于阴极背板的两侧，不锈钢筛网上设置有定位槽，梯形固定块设置在定位槽上，梯形固定块通过螺钉与阴极盖板固定连接，压条上设置有梯形槽，压条通过梯形槽与梯形固定块配合；本方案将现有阴极背板改为带不锈钢筛网的结构，从而有效的增加阴极背板的接触面积及吸附力，减少了镀膜玻璃上落尘的几率；并采用即插式的梯形配合结构，解决了断丝无法取出问题，提高了各部件的使用寿命。