[实用新型]一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构

说明书

本实用新型涉及一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构和输送辊机构，旋转靶阴极机构上设置有靶材和阴极背板组件；阴极背板组件包含阴极盖板、阴极背板、不锈钢筛网、梯形固定块和压条，阴极盖板和不锈钢筛网分别位于阴极背板的两侧，不锈钢筛网上设置有定位槽，梯形固定块设置在定位槽上，梯形固定块通过螺钉与阴极盖板固定连接，压条上设置有梯形槽，压条通过梯形槽与梯形固定块配合；本方案将现有阴极背板改为带不锈钢筛网的结构，从而有效的增加阴极背板的接触面积及吸附力，减少了镀膜玻璃上落尘的几率；并采用即插式的梯形配合结构，解决了断丝无法取出问题，提高了各部件的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，属于玻璃镀膜技术领域。

背景技术

目前国内外镀膜玻璃生产线用于固定磁控溅射阴极背板的方法，皆是采用螺丝直接将阴极背板锁在磁控溅射阴极背面上，该处为表面粗糙的铝合金板；由于在镀膜生产过程中不断地累积了溅镀物在阴极背板上，长时间便形成松散堆积的“粉尘”；由于“粉尘”无法完全牢固地吸附在阴极背板上，在生产过程中会不断掉在镀膜玻璃表面上从而引起透光，造成镀膜玻璃品质批量不良；为了减少品质不良，很多镀膜厂家不得不频繁破真空保养清理及更换阴极背板，同时反复拆装阴极背板也易造成阴极背板固定螺丝折断在阴极盖板内而无法取出来。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构和输送辊机构，输送辊机构带动玻璃经过旋转靶阴极机构，旋转靶阴极机构对玻璃进行真空磁控溅射镀膜，旋转靶阴极机构上设置有靶材和阴极背板组件；所述阴极背板组件包含阴极盖板、阴极背板、不锈钢筛网、梯形固定块和压条，阴极盖板和不锈钢筛网分别位于阴极背板的两侧，不锈钢筛网上设置有定位槽，梯形固定块设置在定位槽上，梯形固定块通过螺钉与阴极盖板固定连接，压条上设置有梯形槽，压条通过梯形槽与梯形固定块配合。

优选的，所述压条上设置有连接槽，在连接槽中固定安装连接块，连接块上开设梯形槽，梯形固定块与连接块上的梯形槽配合。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型方案的即插式少落尘的真空磁控溅射机构，将现有阴极背板改为带不锈钢筛网的结构，从而有效的增加阴极背板的接触面积及吸附力，减少了镀膜玻璃上落尘的几率，降低了镀膜玻璃的不良率，减少了镀膜设备保养的次数；并采用即插式的梯形配合结构，彻底解决了因反复拆装导致的断丝无法取出问题，提高了各部件的使用寿命。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为本实用新型所述的一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构的示意图；

附图2为本实用新型所述的阴极背板组件的一侧的结构示意图；

附图3为本实用新型所述的阴极背板组件的剖面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1-3所示，本实用新型所述的一种即插式少落尘的真空磁控溅射机构，包含旋转靶阴极机构1和输送辊机构2，输送辊机构2带动玻璃3经过旋转靶阴极机构1，旋转靶阴极机构1对玻璃3进行真空磁控溅射镀膜，旋转靶阴极机构1上设置有靶材4和阴极背板组件5。

所述阴极背板组件5包含阴极盖板11、阴极背板12、不锈钢筛网13、梯形固定块14和压条15，不锈钢筛网13和阴极盖板11分别位于阴极背板12的上下两侧，不锈钢筛网13焊接在阴极背板12上，四边焊点均匀设置，以防止不锈钢筛网翘起。