[实用新型]一种超硬抗反射玻璃镀膜生产加工上料装置有效

专利信息
申请号: 202121263606.6 申请日: 2021-06-07
公开(公告)号: CN215481243U 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 张元胜;胡选举;曾山 申请(专利权)人: 东莞市悦目光学科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/35;C23C14/10;C23C14/08
代理公司: 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 代理人: 周庆佳
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种超硬抗反射玻璃镀膜生产加工上料装置,包括真空腔体,便于对保证产品在加工时的环境为真空状态,所述真空腔体内一侧开有开口。本实用新型通过在采用分子泵产生高真空,使用多耙材进行磁控溅射镀膜设备,用化学合成方法产生分子结构重组作用于产品表面形成膜层而实现超硬AR镀膜,采用磁控溅射耙材,比传统蒸发镀膜气象沉积法腔体更清洁,良率更高,镀膜材料利用率更高。
搜索关键词: 一种 超硬抗 反射 玻璃 镀膜 生产 加工 装置
【主权项】:
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