[实用新型]一种靶材生产装置有效
申请号: | 202121250531.8 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN214937755U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 王斌 | 申请(专利权)人: | 法柯特科技(江苏)有限公司 |
主分类号: | C23C4/134 | 分类号: | C23C4/134;C23C4/137 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及靶材生产设备技术领域,尤其涉及一种靶材生产装置。包括转床,转床的一端设置有尾座,转床上设置有可移动的溜板,溜板上设置有支柱,支柱上部设置有喷枪,喷枪的一端设置有枪头,枪头上可拆卸的设置有保护罩,保护罩的内部依次设置有第一凹台、第二凹台和通道,保护罩在枪头的一侧的上方设置有粉管孔,粉管孔内设置有送粉接头,保护罩在通道两侧的位置设置有进气管,第一凹台内设置有内护罩,内护罩的一侧设置有底环,内护罩内设置有第三凹台,底环的一侧与第一凹台的底部连接,并且底环位于第二凹台外侧、进气管内侧。本实用新型造价较低,并且生产出的靶材氧含量较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 装置 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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C23C4-18 .后处理
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