[实用新型]一种靶材生产装置有效
| 申请号: | 202121250531.8 | 申请日: | 2021-06-07 |
| 公开(公告)号: | CN214937755U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
| 发明(设计)人: | 王斌 | 申请(专利权)人: | 法柯特科技(江苏)有限公司 |
| 主分类号: | C23C4/134 | 分类号: | C23C4/134;C23C4/137 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 224000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 生产 装置 | ||
1.一种靶材生产装置,包括转床(1),所述转床(1)的一端设置有尾座(3),所述转床(1)上设置有可移动的溜板(2),所述溜板(2)上设置有支柱(21),所述支柱(21)上部设置有喷枪(6),所述喷枪(6)的一端设置有枪头(61),其特征在于:所述枪头(61)上可拆卸的设置有保护罩(5),所述保护罩(5)的内部依次设置有第一凹台(54)、第二凹台(56)和通道(55),所述保护罩(5)在枪头(61)的一侧的上方设置有粉管孔(53),所述粉管孔(53)内设置有送粉接头(7),所述保护罩(5)在通道(55)两侧的位置设置有进气管(52),所述进气管(52)与第一凹台(54)相连通,所述第一凹台(54)内设置有内护罩(9),所述内护罩(9)的一侧设置有底环(91),所述内护罩(9)内设置有第三凹台(92),所述底环(91)的一侧与第一凹台(54)的底部连接,并且底环(91)位于第二凹台(56)外侧、进气管(52)内侧。
2.根据权利要求1所述的一种靶材生产装置,其特征在于:还包括紧固件(8),所述紧固件(8)的两侧设置有第二侧板(81),所述第二侧板(81)上设置有通孔;所述保护罩(5)的一端设置有连接部(51),所述连接部(51)的两侧设置有第一侧板(511),所述第一侧板(511)上设置有通孔;所述紧固件(8)可通过螺栓和螺母紧固在连接部(51)上,以便将保护罩(5)固定在枪头(61)上。
3.根据权利要求1或2任意一项所述的一种靶材生产装置,其特征在于:所述粉管孔(53)为螺纹孔,所述送粉接头(7)上设置有外螺纹,两者通过螺纹连接。
4.根据权利要求1或2任意一项所述的一种靶材生产装置,其特征在于:所述第一凹台(54)从设置有通道(55)的一侧向另一侧具有向外的拔模特征,所述第三凹台(92)从底环(91)的一侧向另一侧具有向外的拔模特征。
5.根据权利要求4所述的一种靶材生产装置,其特征在于:所述第一凹台(54)的拔模特征的拔模角度为7°-10°,所述第三凹台(92)的拔模特征的拔模角度为7°-10°。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆





