[实用新型]一种平面三自由度精密微位移定位平台

摘要

本实用新型公开了一种平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：包括运动平台、柔性杠杆放大机构一、基座、压电陶瓷驱动器、预紧螺纹孔、预紧螺钉、定位孔；所述基座上设有定位孔；所述运动平台呈正三角形形状；所述柔性杠杆放大机构每两个为一组，对称放置分布在所述正三角形运动平台每一个端点，并通过直圆型柔性铰链与所述运动平台和所述基座连接；所述压电陶瓷驱动器设有三组，分别设置于三个压电陶瓷驱动器安装槽内且相对运动平台中心呈120º均匀分布，并通过预紧螺钉进行预紧，从而实现动平台在平面内高精度的运动。其优点在于采用以上方案，运动平台与基座之间通过柔性杠杆放大机构间接相连，能够放大压电陶瓷驱动器的输出位移，增大运动平台的行程；所述运动平台每一个端点连接两个并联对称分布的柔性杠杆放大机构，同时满足驱动力的平均分配及解耦和大刚度的要求；采用三个压电陶瓷驱动器驱动，实现运动平台在平面的三维高精度、大行程的运动。