[实用新型]一种平面三自由度精密微位移定位平台

权利要求书

1.一种平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：包括运动平台1、柔性杠杆放大机构一2、基座3、压电陶瓷驱动器4、预紧螺纹孔51、预紧螺钉52；所述基座3侧面设有预紧螺纹孔51，上面设有定位孔6；所述运动平台1呈正三角形形状，并设置在整个定位平台的中心位置；所述柔性杠杆放大机构一2共有六个，每一个通过直圆型柔性铰链25与连接杆一22和连接杆二23相连，连接后每两个为一组并联且通过直圆型柔性铰链25与所述正三角形运动平台1的每一个端点连接，三组放大杠杆21与连接杆一22和连接杆二23相连的连接体并联且相对于运动平台1中心呈120º均匀分布，并通过位移输出杆24彼此相连呈封闭机构，此封闭机构的外侧通过直圆型柔性铰链25与所述基座3连接，所述压电陶瓷驱动器4设置在位移输出杆24与基座3围成的半封闭压电陶瓷驱动器安装槽中并安装在位移输出杆24上。

2.根据权利要求1所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述直圆型柔性铰链25均呈双边圆弧结构并且尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述位移输出杆24通过直圆型柔性铰链25先与两个连接杆二23相连，接着与两个放大杠杆21相连，再与两个连接杆一22连接，此连接体相对运动平台1的中心呈120°均匀分布，最后通过直圆型柔性铰链25与运动平台1和基座3连接成本平面三自由度精密微位移定位平台。

4.根据权利要求3所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述每一个柔性杠杆放大机构一2中的放大杠杆21一侧通过直圆型柔性铰链25分别与连接杆一22和连接杆二23连接，另一侧通过直圆型柔性铰链25与基座3连接。

5.根据权利要求1所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器4产生的输出位移通过位移输出杆24与连接杆一22传递到放大杠杆21，经过放大杠杆21放大的输出位移再通过连接杆二23传递到运动平台1。

6.根据权利要求5所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述每一个自由度方向上的压电陶瓷驱动器4工作时，所产生的输出位移依次通过位移输出杆24、通过直圆型柔性铰链25与位移输出杆24相连的两个连接杆一22、放大杠杆21、连接杆二23最后传递到运动平台1，另外与此压电陶瓷驱动器直接驱动的连接体相对运动平台1中心呈120º均匀分布的两个连接体具有为此自由度方向上的输出位移提供解耦的作用，严格将压电陶瓷驱动器4的输出位移转换成运动平台1的位移，防止寄生运动的产生，进一步保证运动精度。

7.根据权利要求6所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述每一个压电陶瓷驱动器4能为运动平台1提供一个自由度，三个压电陶瓷驱动器4交错工作能够使运动平台1在平面上实现三个自由度的运动。

8.根据权利要求1所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述运动平台1每一个端点通过直圆型柔性铰链25连接着两个放大杠杆21与连接杆一22和连接杆二23相连的连接体，这两个连接体并联且相互对称分布，与运动平台1三个端点相连的三对连接体又相互并联且相对运动平台1的中心呈120º均匀分布，机构整体对称的设计与并联的分布方式，使得此平面三自由度精密微位移定位平台同时满足驱动力的平均分配及解耦和大刚度的要求，进而适用更多的情况。

9.根据权利要求1所述的平面三自由度精密微位移定位平台，其特征在于：所述运动平台1、所述柔性杠杆放大机构一2、所述基座3呈一体式结构。