[实用新型]异形溅射靶材有效
| 申请号： | 202121229865.7 | 申请日： | 2021-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN215251137U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 郜锋 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市英达泰新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237 | 代理人： | 李冰 |
| 地址： | 721013 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种异形溅射靶材，包括靶材基体；靶材基体为立方体结构，且靶材基体的溅射面背面中心具有导向定位槽；导向定位槽槽形横截面为T形结构。本实用新型结构简单，装配牢固可靠，具备定位导向装配功能。有助于提升靶材利用率，降低溅射靶材的相对损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 异形 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宝鸡市英达泰新材料股份有限公司，未经宝鸡市英达泰新材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121229865.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：浪涌保护器插座
- 下一篇：一种竹炭板高效切割装置
- 同类专利
- 专利分类
