[实用新型]一种双腔晶圆甩干机有效
| 申请号： | 202121176595.8 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN215784144U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B04B9/02 | 分类号： | B04B9/02;B04B11/06;B04B15/00 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双腔晶圆甩干机，包括机体、防护门、甩干筒体和安装架，所述机体上对称安装有防护门，所述机体的内部位于防护门一侧设有甩干筒体，所述甩干筒体上安装有安装架，所述安装架内安装有转轴，所述转轴中间设有DD马达，所述转轴两端均固定套设有第一锥齿轮，所述甩干筒体外壁两侧均设有侧固定架，所述侧固定架内安装有螺杆，所述螺杆一端穿过侧固定架与第二锥齿轮连接，且第二锥齿轮与第一锥齿轮相互啮合，所述螺杆上滑动套设有滑块，所述滑块一端安装有连接杆，且连接杆一端伸入到甩干筒体内与推料网板连接，所述机体的底部设有底座，本实用新型，方便取料，方便水分的收集。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双腔晶圆甩干机 | ||
【主权项】：
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