[实用新型]一种双腔晶圆甩干机

权利要求书

1.一种双腔晶圆甩干机，包括机体（1）、防护门（2）、甩干筒体（3）和安装架（4），其特征在于：所述机体（1）上对称安装有防护门（2），所述机体（1）的内部位于防护门（2）一侧设有甩干筒体（3），所述甩干筒体（3）上安装有安装架（4），所述安装架（4）内安装有转轴（11），所述转轴（11）中间设有DD马达（10），所述转轴（11）两端均固定套设有第一锥齿轮（12），所述甩干筒体（3）外壁两侧均设有侧固定架（5），所述侧固定架（5）内安装有螺杆（6），所述螺杆（6）一端穿过侧固定架（5）与第二锥齿轮（13）连接，且第二锥齿轮（13）与第一锥齿轮（12）相互啮合，所述螺杆（6）上滑动套设有滑块（7），所述滑块（7）一端安装有连接杆（8），且连接杆（8）一端伸入到甩干筒体（3）内与推料网板（9）连接，所述机体（1）的底部设有底座（18）。

2.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述侧固定架（5）内壁两侧均开设有滑槽，所述滑块（7）两端均与滑槽相配合，所述侧固定架（5）和甩干筒体（3）上均开设有与连接杆（8）相配合的移动孔。

3.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述底座（18）上设有收集屉（20），所述收集屉（20）的表面一侧对称设有刻度线（21），所述收集屉（20）的表面中间安装有拉手。

4.根据权利要求3所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述收集屉（20）的内部安装有过滤网（22），所述收集屉（20）的内壁开设有与过滤网（22）两端相配合的移动槽。

5.根据权利要求3所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述收集屉（20）的外壁两侧均安装有凸块（23），所述底座（18）上开设有与凸块（23）相配合的凹槽（24）。

6.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述底座（18）的底部四角均安装有支撑件（19），所述支撑件（19）包括通过螺栓固定在底座（18）底部四角的固定板，所述固定板的底部固定有支撑套管，所述支撑套管的底部内卡合连接有支撑脚，所述支撑脚上套设有缓冲弹簧，所述支撑脚的底部胶接有缓冲垫。

7.根据权利要求1所述的一种双腔晶圆甩干机，其特征在于：所述机体（1）的内部位于甩干筒体（3）筒口处通过驱动电机安装有双向丝杆（14），所述双向丝杆（14）的两端均滑动套设有移动块（15），所述移动块（15）通过连接架（16）与封板（17）连接，所述封板（17）与甩干筒体（3）筒口相配合。