[实用新型]一种单晶生长真空系统的冷阱结构

摘要

本实用新型属于单晶生长设备真空系统技术领域，特别涉及一种单晶生长真空系统的冷阱结构，包括壳体、冷却容器与捕集管道，本实用新型所述的冷阱结构，其捕集管道可以增加气体路径行程，也可以增加气体与冷却介质的接触面积；捕集管道安装在冷却容器内，冷却管道安装在捕集管道内，冷却管道与冷却容器连通且均存有冷却介质，冷却介质的温度比气体温度低，因此，进入捕集管道内的气体经内外双重冷却可以快速降温；气体中的水蒸气分子和某些熔点较高的杂质气体分子会液化，并和某些杂质颗粒一起沉积在捕集管道底部，从而降低排出气体中的杂质比率，同时也降低了气体回流概率，提高了加热炉内的真空度。