[实用新型]一种用于双靶双激光蒸发的装置

摘要

本实用新型属于团簇技术领域，具体公开了一种用于双靶双激光蒸发的装置，用于双激光蒸发双靶的二元金属团簇源，解决了激光蒸发金属团簇源产生团簇种类单一的问题。包括：竖直的立方体结构的金属块。所述金属块内部设有中空结构，金属块一侧设有两个结构相同的样品靶孔，金属块另一侧设有两个结构相同的激光孔；金属块上部和下部均开设有与中空结构相通的载气通道。通过该装置可以使两种不同的金属样品被两束完全独立可控的激光所蒸发，利用金属等离子体的时间与空间重叠混合，得到两种金属掺杂的团簇离子，还可以通过对激光能量的单独控制，实现对混合过程的良好控制。