[实用新型]一种用于双靶双激光蒸发的装置

权利要求书

1.一种用于双靶双激光蒸发的装置，其特征在于，包括：竖直的立方体结构的金属块，所述金属块内部设有中空结构，金属块一侧设有两个结构相同的样品靶孔，金属块另一侧设有两个结构相同的激光孔，两个靶孔、两个激光孔位于不同轴线上，金属块上部和下部均开设有与中空结构相通的载气通道。

2.根据权利要求1所述的一种用于双靶双激光蒸发的装置，其特征在于，所述金属块内部中空结构作为中空结构，载气通道位于中空结构两端，并与激光孔和样品靶孔垂直，中空结构直径大于两侧载气通道。