[实用新型]一种用于长晶的反应器组件有效
| 申请号： | 202120940036.3 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN214572362U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏飞;刘星;刘家朋;李加林 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯妙娜 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于长晶的反应器组件，属于半导体材料制备领域。该反应器组件包括：反应腔，所述反应腔包括原料腔和废料腔；长晶腔，所述长晶腔与所述原料腔通过气相传输通道连通，所述原料腔内的原料升华产生的原料气通过气相传输通道传输至所述长晶腔内长晶；除料机构，所述除料机构将所述原料腔内长晶过程中产生的废料转移至所述废料腔。该反应器组件中将原料的反应腔分为原料腔和废料腔，通过除料机构及时将原料腔内的废料转移至废料腔，使长晶腔内的原料气在生长过程中保持一致，得到表面均匀且无小片多型的高质量碳化硅晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 反应器 组件 | ||
【主权项】：
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