[实用新型]一种用于长晶的反应器组件

权利要求书

1.一种用于长晶的反应器组件，其特征在于，其包括：

反应腔，所述反应腔包括原料腔和废料腔；

长晶腔，所述长晶腔与所述原料腔通过气相传输通道连通，所述原料腔内的原料升华产生的原料气通过气相传输通道传输至所述长晶腔内长晶；

除料机构，所述除料机构将所述原料腔内长晶过程中产生的废料转移至所述废料腔。

2.根据权利要求1所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，所述原料腔的顶部开口与所述废料腔的顶部开口连通，所述除料机构将所述废料经过所述原料腔的顶部开口和所述废料腔的顶部开口转移至所述废料腔。

3.根据权利要求2所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，所述原料腔套设在所述废料腔的外围；或

所述废料腔套设在所述原料腔的外围。

4.根据权利要求3所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，所述反应腔由反应腔内筒和反应腔外筒形成，所述反应腔外筒套设于所述反应腔内筒外侧；和

所述反应腔外筒与所述反应腔内筒之间形成所述原料腔，所述反应腔内筒形成所述废料腔；或所述反应腔外筒与所述反应腔内筒之间形成所述废料腔，所述反应腔内筒形成所述原料腔。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，还包括送料机构，所述送料机构包括设置在所述原料腔内并承载所述原料的承料台，所述送料机构能够控制所述承料台带动所述原料向靠近所述气相传输通道方向移动；和/或

所述除料机构包括除料件和与所述除料件连接的连杆，所述除料件设置在所述气相传输通道内，通过所述连杆控制所述除料件将目标区域和厚度的原料表层废料推动至所述废料腔内。

6.根据权利要求5所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，所述除料件为挡板，所述挡板设置在所述反应腔的顶部；

所述连杆能够伸缩，用于控制所述挡板沿所述原料腔至所述废料腔方向运动，以推动所述原料表层废料至所述废料腔内。

7.根据权利要求6所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，还包括控制所述连杆伸缩的第一控制机构。

8.根据权利要求5所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，所述送料机构还包括推杆，所述推杆穿过所述原料腔底部与所述承料台相连，所述推杆用于推动所述承料台向靠近所述气相传输通道方向移动。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，所述气相传输通道内设置隔板，所述隔板为多孔材料。

10.根据权利要求9所述的用于长晶的反应器组件，其特征在于，所述隔板为多孔石墨板，所述原料气穿过所述多孔石墨板进入所述长晶腔。