[实用新型]一种二维材料制备装置

摘要

本实用新型提供了一种二维材料制备装置，属于二维材料制备的技术领域，包括处理室，所述处理室顶部和底部设有开口分别用于进气和出气；气流管路，所述气流管路贯通设置于所述处理室顶部开口处，所述气流管路上端与气体供给装置相连，气流管路的下端口正好位于所述基片台正中心上方使从气流管路的下端口流出的气态源在所述小片待制备二维材料表面均匀扩散；排气机构，所述排气机构设于所述处理室底部开口处，用于处理室内减压排气；控制机构对处理室内的反应环境进行控制。使用本实用新型提供的二维材料制备装置可以可控、可重复地生长大面积直至晶圆级的二维材料。