[实用新型]一种用于测试PVD托盘的传输平台有效
| 申请号： | 202120917512.X | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN214987325U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴超 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D53/02 | 分类号： | B65D53/02;B65D61/00;B65D25/10 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 韦超峰 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于测试PVD托盘的传输平台，属于真空镀膜技术领域。本实用新型的一种用于测试PVD托盘的传输平台，包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；电机机构带动第一传动轴，第一传动轴通过第三传动轴带动第二传动轴，第一传动轴和/或第二传动轴可以在第三传动轴内滑动；定位导轨安装在主体机架上，定位导轨包括第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆和第二连接杆分别连接2个框架，第一连接杆和/或第二连接杆能够径向滑动。通过轴可调机构和定位导轨的调节，框架间距能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 pvd 托盘 传输 平台 | ||
【主权项】：
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