[实用新型]一种用于测试PVD托盘的传输平台

说明书

本实用新型公开了一种用于测试PVD托盘的传输平台，属于真空镀膜技术领域。本实用新型的一种用于测试PVD托盘的传输平台，包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；电机机构带动第一传动轴，第一传动轴通过第三传动轴带动第二传动轴，第一传动轴和/或第二传动轴可以在第三传动轴内滑动；定位导轨安装在主体机架上，定位导轨包括第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆和第二连接杆分别连接2个框架，第一连接杆和/或第二连接杆能够径向滑动。通过轴可调机构和定位导轨的调节，框架间距能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，更具体地说，涉及一种用于测试PVD托盘的传输平台。

背景技术

能源危机和环境污染问题促使人们对清洁能源的广泛关注，太阳能具有资源充足，无污染，寿命长等优点，已成为可再生能源技术中发展最快，最具活力的研究领域。太阳能电池是一种利用光生伏特效应将太阳光辐射能直接转换为电能的发电技术，在所有的太阳能电池技术中，硅基异质结太阳能电池因其具有较高的转换效率和较低的温度系数，而最引人注目。

PVD镀膜设备是对硅片进行磁控溅射镀膜的一种真空镀膜设备，PVD设备托盘是要装载市面上各种硅片，托盘规格有：L2274*W1692mm(210半片)，L2363*W1762mm(220半片)，L2383*W1986mm(230半片)等五种规格。

常规PVD托盘测试平台框架由方管焊接，安装轴承座和轴，只能测试一种规格的托盘，如要测试其他规格的托盘，就需要更换机架和轴。此种方案存在缺点，常规PVD托盘测试平台框架由方管焊接，安装轴承座和轴，只能测试一种规格的托盘，如要测试其他规格的托盘，就要更换机架和轴，十分浪费成本，安装调试也浪费时间。

鉴于以上原因，需要提供一种能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。

实用新型内容

1.实用新型要解决的技术问题

本实用新型的目的在于克服现有技术中测试平台规格固定，只能测试一种规格托盘的不足，提供了一种用于测试PVD托盘的传输平台，包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；电机机构带动第一传动轴，第一传动轴的第一连接段与第三传动轴的一端连接，第三传动轴的另一端连接第二传动轴的第二连接段；第一传动轴远离第一连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第二传动轴远离第二连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第一传动轴和/或第二传动轴可以在第三传动轴内滑动；定位导轨安装在主体机架上，定位导轨包括第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆和第二连接杆分别连接2个框架，第一连接杆和/或第二连接杆能够径向滑动。通过轴可调机构和定位导轨的调节，框架间距能够适应不同PVD托盘宽度尺寸的测试平台。此结构的部件简单、数量少，并可以轻松实现拆装。

2.技术方案

为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：

本实用新型的一种用于测试PVD托盘的传输平台，包括主体机架、传动组、轴可调机构、定位导轨和外框架；

外框架包括平行设置的2个框架，框架上设置有若干传动组，每个传动组包括第一传动轮、第二传动轮和传动带，第一传动轮通过传动带带动第二传动轮，多个传动组依次设置；

轴可调机构包括电机机构、第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴；电机机构带动第一传动轴，第一传动轴的第一连接段与第三传动轴的一端连接，第三传动轴的另一端连接第二传动轴的第二连接段；第一传动轴远离第一连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第二传动轴远离第二连接段的一端连接有传动轮，该传动轮作为主动轮带动传动组；第一传动轴和/或第二传动轴可以在第三传动轴内滑动；