[实用新型]一种氮气制备装置有效
申请号: | 202120898303.5 | 申请日: | 2021-04-25 |
公开(公告)号: | CN215364917U | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 鞠德胜;于伟华;朱建中;万荣群 | 申请(专利权)人: | 宜兴市海飞陵电子科技有限公司 |
主分类号: | C01B21/04 | 分类号: | C01B21/04 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 李莹 |
地址: | 214000 江苏省无锡市宜兴经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种氮气制备装置,涉及电子高纯辅助材料制备技术领域。氮气制备装置包括空气净化单元、变压吸附单元以及加碳脱氧单元,空气净化单元与变压吸附单元连接,变压吸附单元与加碳脱氧单元连接;变压吸附单元包括吸附塔,吸附塔内放置有吸附剂;加碳脱氧单元包括脱氧器,脱氧器内放置有碳催化剂。本实用新型实施例提出的氮气制备装置能够同时生产仪表风、低纯氮以及高纯氮等不同纯度的氮气,满足用户对不同纯度氮气的用气需求,同时,仪表风、低纯氮以及高纯氮之间的产量能够相互协调补充,使得氮气资源能够得到最大程度的利用。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮气 制备 装置 | ||
【主权项】:
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